FAAS 8000ICS 在線陰陽(yáng)離子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
FAAS 8000ICS 在線陰陽(yáng)離子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術(shù)結(jié)合離子色譜分析方法,實(shí)現(xiàn)了多點(diǎn)采樣、氣體自動(dòng)吸收富集、在線質(zhì)量控制等全自動(dòng)在線監(jiān)測(cè)功能,解決了潔凈室AMC監(jiān)測(cè)過(guò)程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)頻率低、數(shù)據(jù)反饋不及時(shí)等問(wèn)題;可應(yīng)用于半導(dǎo)體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物(AMC)中酸性物質(zhì)(MA)、堿性物質(zhì)(MB)污染物的在線監(jiān)測(cè)。
了解詳情